lintec以太網CAT質量流量控制器MC-5000C 便攜式超聲波流量計

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更新日期：2024-03-24

簡要描述：

lintec以太網CAT質量流量控制器MC-5000C
用于半導體工藝的高性能質量流量控制器EtherCAT通信版本。它是半合規(guī)的，可以通過EtherCAT通信進行控制，EtherCAT通信用于半導體制造設備的高速傳輸系統(tǒng)。

品牌	其他品牌	類型	超聲波
測量范圍	1m3/h

lintec以太網CAT質量流量控制器MC-5000C

用于 EtherCAT 通信的高性能質量流量控制器。

用于半導體工藝的高性能質量流量控制器EtherCAT通信版本。它是半合規(guī)的，可以通過EtherCAT通信進行控制，EtherCAT通信用于半導體制造設備的高速傳輸系統(tǒng)。

半導體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC的原始環(huán)境溫度補償流量傳感器作為標準安裝，并且可以作為液化氣支架等選項添加。

特點

越來越多的半導體制造設備配備了EtherCAT通信（數字I / F），用于高速控制機械臂等運輸系統(tǒng)。 EtherCAT通信有65，536個節(jié)點，MFC的所有測量系統(tǒng)和運動系統(tǒng)元件都可以與EtherCAT通信統(tǒng)一。

lintec以太網CAT質量流量控制器MC-5000C

溫度	最小壓差	最大壓差	精度	控制范圍	低標準	最高 F.S.	sdaM
15~35°C	50kPa	300kPa	±1%自保	2~100%F.S.	10SCCM	300SLM	金

* 規(guī)格表為具有一般規(guī)格的質量流量控制器。可以通過選項進行更改。