可安裝在量產(chǎn)設備中的膜厚檢測儀AFW-100W

發(fā)布日期：2021-10-25      瀏覽次數(shù)：1334

可安裝在量產(chǎn)設備中的膜厚檢測儀AFW-100W



推薦使用反射光譜膜厚計用于膜厚測量應用，例如硬涂層。

[機理] 

當樣品受到光照射時，它會根據(jù)膜厚顯示出*的光譜。薄膜表面反射的光與穿過薄膜并在基板表面反射的光相互干擾。當光的相位匹配時，強度增加，而當光相移時，強度降低。反射計是一種通過分析該光譜來測量薄膜厚度的方法。

[優(yōu)點] 

-與 SEM 和觸針式輪廓儀不同，無需接觸即可進行測量。
- 與橢偏儀相比，便宜且易于使用。

將來也可以安裝在量產(chǎn)設備中。

模型	AFW-100W
用	對于一般膜厚
設備配置	單元主體、測量臺、2 分支光纖 (1.5m)、PC
測量波長范圍	380-1050nm
膜厚測量范圍	100nm～1μm（曲線擬合法）
	1 μm 至 60 μm (FFT)
測量再現(xiàn)性	0.2%-1%（視膠片質量而定）
測量光斑直徑	約7mm
光源	12V-50W鹵素燈
測量理論	曲線擬合法/FFT法
外形尺寸 (mm)	測量臺：W150 x D150 x H115
	機身：W230 x D230 x H135
大約重量	5.5kg * 不包括 PC
公用事業(yè)	AC100V 50 / 60Hz
轟天猛將	鹵素燈